HL8680全集成模块化臭氧输送系统

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HL8680全集成模块化臭氧输送系统

HL8680臭氧输送系统可生成并输送高流量、高浓度、超洁净臭氧，适用于先进薄膜制程应用。该设备专为日益多元的半导体制程应用打造，可适配ALD、CVD、TEOS、臭氧CVD等核心工艺。作为全集成模块化系统，其可搭载4台HL8515臭氧发生器，实现臭氧的超高浓度与超大流量输出。

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