HUALONG臭氧水输送系统

华龙半导体公司的溶解臭氧气体输送系统，可在超纯水中稳定提供高纯度臭氧，适用于半导体及电子薄膜制程应用，可实现污染物去除、湿清洗/冲洗法表面调理等工艺需求。臭氧凭借高氧化还原电位，可快速分解为氧气，是传统化学工艺的优质环保替代方案。
系统支持用户自主调控与配置溶解臭氧的浓度和流量，可精准匹配各类应用场景的个性化工艺需求;设备采用模块化多功能机械系统接口，易于融入现代制程设备与产线设施，且集成维护便捷，全面符合最新的行业安全与监控标准要求。