HL8515超高浓度高流量臭氧发生器

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HL8515超高浓度高流量臭氧发生器

HL8515是华龙半导体开发的最具创新性和多功能性的臭氧发生器。该发生器采用新颖架构和专利放电室设计，能产生超洁净、超高浓度、高流量的臭氧，可将氧气转化为浓度>400g/Nm3的高浓度臭氧，广泛应用于半导体、平板显示器和光伏行业的前沿制程。HL8515的核心设计技术，是该设备实现多功能性的核心基础。

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