HL8507高流量臭氧发生器

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HL8507高流量臭氧发生器

臭氧作为环保型化学工艺替代方案，拥有高氧化还原电位，可通过高压电离方式制取，且易分解为氧气，无二次污染。在半导体领域，其典型应用覆盖TEOS/臭氧CVD、Ta,O.CVD、光刻胶剥离、晶圆清洗、污染物去除、表面处理、氧化层生长及ALD等核心制程;同时亦广泛适用于制药、水处理领域，可满足清洗、灭菌、消毒及在线清洗(CIP)等多元需求。

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