HUALONG臭氧水分解系统

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HUALONG臭氧水分解系统

臭氧水分解器是半导体湿法清洗工艺的核心配套设备，依托紫外(UV)光解技术与特殊流道结构设计，可将清洗后残留的臭氧水高效分解为无害的氧气和水，从根源上消除臭氧水对厂房管路的腐蚀问题。设备处理后的水体可经厂务系统回收再利用，大幅节省超纯水的消耗，完美契合半导体行业对“零排放、高安全”的严苛工艺标准。

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